Interferometer (IFM)

Ein Interferometer ist ein optisches Messinstrument, das in der Messtechnik zur hochpräzisen Messung von Längen, Winkeln und Oberflächenprofilen eingesetzt wird. Es basiert auf der Überlagerung von Lichtwellen und der Messung von Interferenzmustern.

Die Arbeitsweise eines Interferometers beruht auf dem Prinzip der Interferenz, bei dem zwei oder mehr Lichtwellen zusammentreffen und sich überlagern, um ein Interferenzmuster zu erzeugen. Die Eigenschaften des Interferenzmusters werden dann verwendet, um Messungen durchzuführen.

Ein typisches Interferometer besteht aus einer Lichtquelle, einem Strahlteiler, einem Referenzspiegel, einem Messobjekt und einem Detektor. Die Lichtquelle emittiert einen Lichtstrahl, der auf den Strahlteiler trifft und in zwei Strahlen geteilt wird. Ein Strahl wird zum Referenzspiegel reflektiert, während der andere Strahl auf das Messobjekt gerichtet wird. Der reflektierte Strahl vom Referenzspiegel und der reflektierte Strahl vom Messobjekt treffen sich wieder am Strahlteiler und erzeugen ein Interferenzmuster auf dem Detektor.

Durch die Analyse des Interferenzmusters können präzise Messungen durchgeführt werden, z.B. von Längen, Winkeln, Oberflächenprofilen und Formen. Die Messgenauigkeit hängt von der Kohärenzlänge der Lichtquelle, der Stabilität der Komponenten und der Qualität des Interferenzmusters ab.

Interferometer finden in einer Vielzahl von Anwendungen Verwendung, wie z.B. in der Halbleiterfertigung, bei der Herstellung von optischen Geräten und Instrumenten, in der Metrologie und in der Lasertechnologie. Es gibt verschiedene Arten von Interferometern, wie z.B. Michelson-Interferometer, Fizeau-Interferometer, Twyman-Green-Interferometer und Mach-Zehnder-Interferometer, die jeweils für spezifische Anwendungen optimiert sind.